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在日常维护中首先要检查是否有起皮、裂缝、脱皮现象, 这些现象的出现对溶液的危害是很大的,会把上一道工序中处理时 残留在此的溶液带到下一道工序的溶液中去,把下道工序的溶液污 染了。为此,发现挂具的绝缘膜层发生损伤时就该有针对性地进行修复。否则若这些庇病又恰巧接近与工件的接触部位,则还有可能影 响到接触部位镀层的正常沉积(该处虽无铬的沉积,但却会由缝隙中 逸出气体,从而影响到该处附近工件上镀层的正常沉积)。当发现局部 处有铬的沉上时,说明该处绝缘胶已脱落,此时要用机械方法予以去 除,并补上绝缘胶,以免影响该处附近工件上铬层的正常沉积。
防伪胶粘绝缘膜用材料,绝缘膜用罩光清漆,以及绝缘膜和采用该膜或该清漆的半导体装置的制作方法。
作为用于半导体的材料,人们按照所需性能以各种不同比例使用无机材料和有机材料。例如,作为用于半导体的绝缘层间膜,使用无机氧化物的膜,例如按照化学气相沉积法制备的二氧化硅。然而,由于半导体速度提高并且性能更进一步改进,使用无机氧化物膜会产生一个问题,即介电常数太高作为克服这一问题,一种使用有机材料的方法已经展开研究。
应用于半导体的有机材料是,例如表现出优异耐热性以及电学和机械性能的聚酰亚胺树脂。聚酰亚胺树脂用作阻焊膜,面层和液晶取向膜。然而,由于聚酰亚胺树脂在酰亚胺环上具有两个羰基基团,通常会发现有关吸水性和电学性能的问题。为了克服这些问题,人们已经尝试了通过将氟或含氟基团引入有机大分子来改进吸水性和电学性能,并且在实践中已经使用了某些改性的树脂。聚苯并噁唑树脂比聚酰亚胺树脂表现出更优异耐热性、吸水性和电学性能。人们还尝试了将聚苯并噁唑树脂应用到各种领域中。聚苯并噁唑树脂的例子包括具有衍生自4,4’-二氨基-3,3’-二羟基联苯和对苯二甲酸的结构的树脂,以及具有衍生自2,2-双(3-氨基-4-羟基联苯)六氟丙烷和对苯二甲酸的结构的树脂。